一、產(chǎn)品描述
主要利用渦電流測試原理，非接觸測試半導(dǎo)體材料，石墨烯，透明導(dǎo)電膜，碳納米管，金屬等材料的電學(xué)特性。
二、主要特點
本儀器為非接觸，非損傷測試，具有測試速度快，重復(fù)性佳，測試敏感性高，可以直接測試產(chǎn)品片等優(yōu)點。
三、核心模塊描述
產(chǎn)品集成方阻（電阻率）、PN型、溫度三探頭一體式測量，可廣泛用于硅片分選機、生產(chǎn)過程分析等光伏及半導(dǎo)體測量領(lǐng)域。本產(chǎn)品由如下部分組成：
1、控制主機
可實現(xiàn)電阻率探頭、PN探頭、溫度探頭、光纖信號的統(tǒng)一管理；與遠程電腦進行網(wǎng)絡(luò)通訊。
2、方阻（電阻率）探頭
主要利用渦電流測試原理，非接觸測試半導(dǎo)體材料，石墨烯，透明導(dǎo)電膜，碳納米管，金屬等材料的電學(xué)特性。
3、PN類型檢測探頭
利用光伏效應(yīng)，通過測量由光伏效應(yīng)引起的表面光電壓 (SPV), 分析半導(dǎo)體材料相關(guān)性質(zhì)。
四、主要技術(shù)參數(shù)
參數(shù) | 探頭 | 說明 | |
組成 | 方阻探頭 | 方法：非接觸式渦流法 范圍：1-300Ω/□ (0.1 - 20Ω*cm，Tk≈750um） 重復(fù)性：<1% 示值誤差：<±3% 單點測量時間：< 1秒 | 型號：R-PN-200 (九域半導(dǎo)體科技) |
PN探頭 | 方法：非接觸式SPV法 單點測量時間：< 1秒 誤判斷 < 0.02% | ||
控制器 |
可同時連接電阻率探頭和PN探頭，可擴展溫度探頭 | ||
OCR | COGNEX IN-SIGHT 1740系列晶圓讀碼器 | ||
主機 | DELL（windows 10）+23寸顯示屏 專用數(shù)據(jù)分析軟件（記錄、質(zhì)控、Mapping） 可接入MES系統(tǒng) | ||
測量過程 | 1、放置Wafer至樣品臺 2、通過按鈕Ocr識別Wafer ID信息 3、手動移動探頭至待測位置，按鈕觸發(fā)測量 4、數(shù)據(jù)顯示（包括PN 和 方阻或電阻率）、記錄、質(zhì)控、輸出文件等 5、根據(jù)客戶需求可定制MES系統(tǒng) | ||
Wafer信息 | 尺寸：> 2” | ||
額定功率 | 36W（數(shù)據(jù)分析模組） + 250W(電腦） | ||
環(huán)境溫度 | 23 ±5°C | ||
電源要求 | 額定電壓（220±22）VAC 頻率（50±1）Hz | ||
提供標樣 | 標準片：1片（4寸），電阻率范圍1Ω*cm - 10Ω*cm | ||
驗收判定 | n 測試條件：設(shè)備正常運行后，不低于10片的Wafer進行測試 n 設(shè)備性能：滿足上述量程內(nèi)重復(fù)性及準確性標準 | ||
五、儀器使用環(huán)境
l 環(huán)境溫度：23 ±5°C
l 環(huán)境濕度：（65±20）%RH
l 電源要求：額定電壓（220±22）VAC 頻率（50±1）Hz
六、安裝與驗收
1) 物流運輸；
2) 儀器至甲方后，乙方在得到甲方通知后（最遲甲方簽收儀器后5個工作日），上門為甲方安裝通電并協(xié)助甲方驗收；
3) 驗收標準：以本協(xié)議第2項技術(shù)參數(shù)中的“驗收判定”內(nèi)容實施現(xiàn)場驗收；
4) 驗收合格后甲方為乙方簽字確認。
七、技術(shù)支持與培訓(xùn)
1) 乙方提供7*12h在線技術(shù)支持，2小時內(nèi)回饋；
2) 乙方負責(zé)在驗收過程中對甲方技術(shù)人員現(xiàn)場技術(shù)培訓(xùn)；
3) 在質(zhì)保期內(nèi)，乙方為甲方提供全套免費技術(shù)服務(wù)，不限于更換備件等；質(zhì)保期后，若非人為損壞儀器的維修服務(wù)，乙方只收取硬件成本費用；
4) 乙方免費協(xié)助甲方將儀器數(shù)據(jù)對接至甲方MES系統(tǒng)，若需增加硬件則無需甲方承擔(dān)費用。
八、質(zhì)保期
本儀器，乙方提供自驗收之日起1年質(zhì)保；
九、發(fā)貨備件清單
序號 | 名稱 | 數(shù)量 |
1 | 測試儀 | 1臺 |
2 | 電源線 | 1條 |
3 | 電腦(Windows正版、數(shù)據(jù)GHOST備份) | 1臺 |
4 | 通訊線 | 1條 |
5 | 說明書 | 1本 |
6 | 出廠合格證 | 1個 |
