一、產(chǎn)品描述

主要利用渦電流測試原理，非接觸測試半導(dǎo)體材料，石墨烯，透明導(dǎo)電膜，碳納米管，金屬等材料的電學(xué)特性。

二、主要特點

本儀器為非接觸，非損傷測試，具有測試速度快，重復(fù)性佳，測試敏感性高，可以直接測試產(chǎn)品片等優(yōu)點。

三、核心模塊描述

產(chǎn)品集成方阻（電阻率）、PN型、溫度三探頭一體式測量，可廣泛用于硅片分選機、生產(chǎn)過程分析等光伏及半導(dǎo)體測量領(lǐng)域。本產(chǎn)品由如下部分組成：

1、控制主機

可實現(xiàn)電阻率探頭、PN探頭、溫度探頭、光纖信號的統(tǒng)一管理；與遠(yuǎn)程電腦進行網(wǎng)絡(luò)通訊。

2、方阻（電阻率）探頭

主要利用渦電流測試原理，非接觸測試半導(dǎo)體材料，石墨烯，透明導(dǎo)電膜，碳納米管，金屬等材料的電學(xué)特性。

3、PN類型檢測探頭

利用光伏效應(yīng)，通過測量由光伏效應(yīng)引起的表面光電壓 (SPV), 分析半導(dǎo)體材料相關(guān)性質(zhì)。

四、主要技術(shù)參數(shù)

五、儀器使用環(huán)境

l  環(huán)境溫度：23 ±5°C

l  環(huán)境濕度：（65±20）%RH

l  電源要求：額定電壓（220±22）VAC  頻率（50±1）Hz

六、安裝與驗收

1)     物流運輸；

2)     儀器至甲方后，乙方在得到甲方通知后（最遲甲方簽收儀器后5個工作日），上門為甲方安裝通電并協(xié)助甲方驗收；

3)     驗收標(biāo)準(zhǔn)：以本協(xié)議第2項技術(shù)參數(shù)中的“驗收判定”內(nèi)容實施現(xiàn)場驗收；

4)     驗收合格后甲方為乙方簽字確認(rèn)。

七、技術(shù)支持與培訓(xùn)

1)     乙方提供7*12h在線技術(shù)支持，2小時內(nèi)回饋；

2)     乙方負(fù)責(zé)在驗收過程中對甲方技術(shù)人員現(xiàn)場技術(shù)培訓(xùn)；

3)     在質(zhì)保期內(nèi)，乙方為甲方提供全套免費技術(shù)服務(wù)，不限于更換備件等；質(zhì)保期后，若非人為損壞儀器的維修服務(wù)，乙方只收取硬件成本費用；

4)     乙方免費協(xié)助甲方將儀器數(shù)據(jù)對接至甲方MES系統(tǒng)，若需增加硬件則無需甲方承擔(dān)費用。

八、質(zhì)保期

本儀器，乙方提供自驗收之日起1年質(zhì)保；

九、發(fā)貨備件清單