一、產(chǎn)品描述
主要利用電容探測(cè)技術(shù)，進(jìn)行高精度無接觸的檢測(cè)。非接觸式測(cè)試半導(dǎo)體材料、石墨烯、透明導(dǎo)電膜、碳納米管、金屬等材料的厚度特性。
二、主要特點(diǎn)
本儀器為非接觸，非損傷測(cè)試，具有測(cè)試速度快，重復(fù)性佳，測(cè)試敏感性高，可以直接測(cè)試產(chǎn)品片等優(yōu)點(diǎn)。
三、測(cè)試原理
本測(cè)試系統(tǒng)采用2個(gè)電容傳感器A 和 B，以固定A 和 B的間距D，測(cè)試 A和 B離開被測(cè)物表面的距離，最后用已知的D-（A+B）得出被測(cè)物的厚度。
四、技術(shù)參數(shù)
參數(shù) | 探頭 | 說明 | |
組成 | 厚度探頭 | 方法：非接觸式電容探測(cè)技術(shù) 量程：50μm - 1000μm 測(cè)量誤差：≤±3μm 重復(fù)性：≤0.2% 單點(diǎn)測(cè)量時(shí)間：< 1秒 | 型號(hào)：CT-120 (九域半導(dǎo)體科技) |
控制器 |
可同時(shí)連接電阻率探頭和PN探頭，可擴(kuò)展溫度探頭 | ||
主機(jī) | PIPO品鉑X10PRO/X10RK 10.1寸高清平板電腦 | ||
測(cè)量過程 | 1、放置Wafer至樣品臺(tái)待測(cè)位置 2、按鈕觸發(fā)測(cè)量 3、屏幕顯示測(cè)試結(jié)果 | ||
Wafer信息 | 尺寸： 2”-8” | ||
額定功率 | 36W | ||
環(huán)境溫度 | 23 ±5°C | ||
電源要求 | 額定電壓（220±22）VAC 頻率（50±1）Hz | ||
五、 儀器使用環(huán)境
1) 環(huán)境溫度：23 ±5°C
2) 環(huán)境濕度：（65±20）%RH
3) 電源要求：額定電壓（220±22）VAC 頻率（50±1）Hz
六、安裝與驗(yàn)收
1) 物流運(yùn)輸；
2) 儀器至甲方后，乙方在得到甲方通知后（最遲甲方簽收儀器后5個(gè)工作日），上門為甲方安裝通電并協(xié)助甲方驗(yàn)收；
3) 驗(yàn)收合格后甲方為乙方簽字確認(rèn)。
七、技術(shù)支持與培訓(xùn)
1) 乙方提供7*12h在線技術(shù)支持，2小時(shí)內(nèi)回饋；
2) 乙方負(fù)責(zé)在驗(yàn)收過程中對(duì)甲方技術(shù)人員現(xiàn)場(chǎng)技術(shù)培訓(xùn)；
3) 在質(zhì)保期內(nèi)，乙方為甲方提供全套免費(fèi)技術(shù)服務(wù)，不限于更換備件等；質(zhì)保期后，若非人為損壞儀器的維修服務(wù)，乙方只收取硬件成本費(fèi)用；
八、質(zhì)保期
本儀器，乙方提供自驗(yàn)收之日起1年質(zhì)保
九、發(fā)貨備件清單
序號(hào) | 名稱 | 數(shù)量 |
1 | 手動(dòng)厚度測(cè)試儀 | 1臺(tái) |
2 | 電源線 | 1條 |
3 | 平板電腦 | 1臺(tái) |
4 | 說明書 | 1本 |
5 | 出廠合格證 | 1張 |
