常規(guī)屬性
系統(tǒng)描述：對振動不敏感的泰曼格林型動態(tài)干涉儀
采集模式：動態(tài)或機(jī)械相移
準(zhǔn)直模式：可見對準(zhǔn)激光
工作波段：3.39µm或10.6µm
相干長度：>60m
光束直徑：14mm 準(zhǔn)直；兩個輸出端
偏振態(tài)：線偏光
輸出：測量光:<4 mW @ 3.39 µm ，<500 mW @10.6 µm； 對準(zhǔn)光: <5 mW @532 nm
相機(jī)像素：640 x 512 pixels; 512 x 512 陣列視場
外形尺寸： 85 cm x 41 cm x 20 cm
系統(tǒng)性能
采集速率：>25幀/秒 （后處理）
最小曝光時間：500微秒
樣品反射率：10-99%
RMS重復(fù)性：<0.001wave*
RMS精度：<0.002wave**
*采用10個數(shù)據(jù)RMS值的1σ方差作為結(jié)果；每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均
**采用10個數(shù)據(jù)，每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均；以這10個數(shù)據(jù)的平均值作為參考值；以每一個數(shù)據(jù)與參考值的差來計(jì)算RMS平均作為結(jié)果
配置選項(xiàng)
擴(kuò)束器：1英寸，2英寸，4英寸，6英寸
球面擴(kuò)束鏡頭：F/1 to F/6；接受定制
