系統(tǒng)描述:對(duì)振動(dòng)不敏感的泰曼格林型動(dòng)態(tài)相移干涉儀
采集模式:采用相位相關(guān)探測(cè)器的瞬時(shí)相移式
核心技術(shù):空間相移干涉技術(shù)(PSI)
光源:穩(wěn)頻HeNe@632.8nm;可選532nm, 1053nm或1064nm
相干長(zhǎng)度:>100 m
光束直徑:7 mm
偏振態(tài):圓偏光
相機(jī)像素:2000×2000pixels, 12bit
外形尺寸:測(cè)量頭:<18.0×16.2×9.1cm
激光器:48.3×20.3×11.9cm
采集速率:>10幀/秒 顯示;4副干涉圖/幀
>12幀/秒 數(shù)據(jù)采集帶后數(shù)據(jù)處理
最小曝光時(shí)間:35微秒
樣品反射率:1-99% (無(wú)需衰減)
RMS重復(fù)性:<0.001wave
RMS精度:<0.002wave
擴(kuò)束器:Φ50mm, Φ100mm, Φ300mm
球面擴(kuò)束鏡頭:F/1 to F/32;可定制 F/35, F/40, F/50
球面反射參考鏡:NA0.06,NA0.1,NA0.4, NA0.7