系統(tǒng)描述:對振動(dòng)不敏感的泰曼格林型動(dòng)態(tài)相移干涉儀
采集模式:采用相位相關(guān)探測器的瞬時(shí)相移式
核心技術(shù):相移干涉技術(shù)(PSI)
光源:穩(wěn)頻HeNe@632.8nm;可選波長 532nm
相干長度:>100m
光束直徑:7mm
偏振態(tài):圓偏光
相機(jī)像素:2000×2000pixels, 12bit
外形尺寸:測量頭:<38.9 x 15.7 x 9.1 cm
激光器: 58.9 x 24.1 x 14.0 cm
重量: 測量頭:< 4.5 kg
激光器:< 12.5 kg
采集速率:>10幀/秒 (實(shí)時(shí)顯示)
>15幀/秒 (后處理)
最小曝光時(shí)間:35微秒
樣品反射率:1-99% (無需衰減)
RMS重復(fù)性:<0.001wave*
RMS精度:<0.002wave**
*采用10個(gè)數(shù)據(jù)RMS值的1σ方差作為結(jié)果;每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測試的平均
**采用10個(gè)數(shù)據(jù),每個(gè)數(shù)據(jù)是16次測試的平均;以這10個(gè)數(shù)據(jù)的平均值作為參考值;以每一個(gè)數(shù)據(jù)與參考值的差來計(jì)算RMS平均作為結(jié)果
擴(kuò)束器:Φ50mm, Φ100mm,Φ300mm
球面擴(kuò)束鏡頭:F/1 to F/32;可定制 F/35, F/40, F/50
反射參考鏡: NA0.06, NA0.1, NA0.4, NA0.7