系統(tǒng)描述:對振動(dòng)不敏感的泰曼格林型動(dòng)態(tài)相移干涉儀
采集模式:采用相位相關(guān)探測器的瞬時(shí)相移式
激光器:532nm CW激光,18W
ESPI照明:雙通道獨(dú)立照明,光纖耦合
相干長度:>35m
光束直徑:7 mm
相機(jī)像素:2000×2000 pixels
可測樣品材料:碳纖維、殷鋼、鋁等漫反射表面
RMS重復(fù)性:<0.001wave*
RMS精度:<0.002wave**
測試距離:可測2m-5m
測試覆蓋范圍:Φ1.5m
球面擴(kuò)束鏡頭:F/1 to F/32;