PhaseCam 6000是一款便攜式的緊湊型動態(tài)干涉儀,適用于測量光學(xué)元件及系統(tǒng),易于定位安裝,是測量大口徑光學(xué)系統(tǒng)如凹面望遠(yuǎn)鏡、透鏡、長焦距系統(tǒng)的理想儀器。采用的單CCD相移探測器,可以在短至35us的時間內(nèi)進(jìn)行波前測量能夠在有振動及氣流的場合使用。
系統(tǒng)描述:對振動不敏感的泰曼格林型動態(tài)相移干涉儀
采集模式:單CCD光學(xué)相位探測器
光源:穩(wěn)頻HeNe@632.8nm
相干長度:>100m
光束直徑:7mm collimated
偏振態(tài):圓偏光
相機(jī)像素:2000×2000pixels,12bit
外形尺寸: < 65.4 x 21.7 x 13.8 cm
采集速率:>10幀/秒 顯示;4副干涉圖/幀
>25幀/秒 數(shù)據(jù)采集帶后數(shù)據(jù)處理
最小曝光時間:35微秒
樣品反射率:1-99% (無需衰減)
RMS重復(fù)性:<0.001wave*
RMS精度:<0.002wave**
*采用10個數(shù)據(jù)RMS值的1σ方差作為結(jié)果;每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均
**采用10個數(shù)據(jù),每個數(shù)據(jù)是16次測試的平均;以這10個數(shù)據(jù)的平均值作為參考值;以每一個數(shù)據(jù)與參考值的差來計算RMS平均作為結(jié)果
球面擴(kuò)束鏡頭:F/1 to F/32;可選 F/35, F/40, F/50
球面反射鏡: NA0.06, NA0.1, NA0.4, NA0.7
可選高速相機(jī):1us 曝光時間
可選高能HeNe激光光源