有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀
主要由二個(gè)有機(jī)材料生長室組成，兩個(gè)有機(jī)材料生長室之間通過閘板閥聯(lián)接，其中一個(gè)生長室系統(tǒng)預(yù)留與手套箱對(duì)接接口，能夠完成二套獨(dú)立的制備薄膜系統(tǒng)之間互相傳送基片。的有機(jī)材料生長室主要由真空室腔體組件、有機(jī)蒸發(fā)源、熱阻蒸發(fā)舟、樣品傳遞裝置、樣品臺(tái)、膜厚監(jiān)測(cè)儀、真空室照明裝置、烘烤裝置等組成。
簡(jiǎn)單介紹：
有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀采用直線式結(jié)構(gòu)，主要由二個(gè)有機(jī)材料生長室組成，兩個(gè)有機(jī)材料生長室之間通過閘板閥聯(lián)接，其中一個(gè)生長室系統(tǒng)預(yù)留與手套箱對(duì)接接口，能夠完成二套獨(dú)立的制備薄膜系統(tǒng)之間互相傳送基片。的有機(jī)材料生長室主要由真空室腔體組件、有機(jī)蒸發(fā)源、熱阻蒸發(fā)舟、樣品傳遞裝置、樣品臺(tái)、膜厚監(jiān)測(cè)儀、真空室照明裝置、烘烤裝置等組成。
詳情介紹：
有機(jī)無機(jī)蒸發(fā)鍍膜儀設(shè)備用途：
用于生長薄膜太陽能電池，EL OEL分子有機(jī)電致發(fā)光器件薄膜的研究工作。廣泛應(yīng)用于大專院校、科研院所進(jìn)行薄膜材料的科研與小批量制備。
技術(shù)參數(shù)：
真空室 | 二個(gè)D型真空室，尺寸均約為Ø450×H750mm; 兩個(gè)真空室的真空系統(tǒng)配置、極限壓力、恢復(fù)真空時(shí)間、熱阻蒸發(fā)舟及電源、膜厚監(jiān)測(cè)儀、真空室照明裝置、烘烤裝置、樣品臺(tái)的配置與技術(shù)參數(shù)指標(biāo)相同； | |
真空系統(tǒng)配置 | 日本進(jìn)口低溫泵、無油渦旋干泵與電磁、復(fù)合數(shù)顯真空測(cè)量規(guī)與計(jì)、閥門等。 | |
極限壓力 | ≤2.0×10-5Pa | |
恢復(fù)真空時(shí)間 | 40分鐘可達(dá)到1×10-4Pa | |
電動(dòng)磁力耦合樣品傳遞裝置 | 真空室1 | 采用磁力耦合line motion傳遞裝置，采用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，設(shè)有遠(yuǎn)程手控控制盒，可控制直線前進(jìn)后退。 |
有機(jī)蒸發(fā)源及電源 | 真空室1 | 新型0EL升華型蒸發(fā)源9支，每支蒸料可裝10CC，室溫-800℃7支，室溫-1000℃2支；蒸發(fā)源電源4臺(tái)。 |
真空室2 | 新型0EL升華型蒸發(fā)源6支，每支蒸料可裝10CC，室溫-800℃6支；蒸發(fā)源電源3臺(tái)。 | |
熱阻蒸發(fā)舟及電源 | 新型蒸發(fā)舟2組（熱阻蒸發(fā)舟）； 數(shù)字式熱阻蒸發(fā)電源1臺(tái)，帶有細(xì)調(diào)功能（0.1安培）；鍍鋁盒式蒸發(fā)舟：2個(gè)； 普通金屬蒸發(fā)舟10個(gè)；蒸發(fā)源擋板2套； | |
