近距離蒸發(fā)鍍膜爐
具有11“外徑的石英管。它是專為PVD或CSS（近距離升華）薄膜涂層3英寸直徑或2“×2“。采用兩組鹵素加熱器（頂部和底部），zui大加熱速率20ºC/s。兩個(gè)30段精密溫度控制器內(nèi)置，精度為+/-1ºC。包括RS485端口和控制軟件，允許通過(guò)PC操作爐子和溫度曲線記錄。它是研究新一代太陽(yáng)能電池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和鈣鈦礦太陽(yáng)能電池。
簡(jiǎn)單介紹：
近距離蒸發(fā)鍍膜爐是一種雙加熱區(qū)快速熱處理爐，具有11"外徑的石英管。它是專為PVD或CSS(近距離升華)薄膜涂層3英寸直徑或2"×2"。采用兩組鹵素加熱器(頂部和底部)，zui大加熱速率20ºC/s。兩個(gè)30段精密溫度控制器內(nèi)置，精度為+/-1ºC。包括RS485端口和控制軟件，允許通過(guò)PC操作爐子和溫度曲線記錄。它是研究新一代太陽(yáng)能電池薄膜的主要工具，如CdTe、硫化物和鈣鈦礦太陽(yáng)能電池。
詳情介紹：
近距離蒸發(fā)鍍膜爐產(chǎn)品特點(diǎn)：
1、為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷裝置上。
2、緊貼頂部加熱元件上裝有一氮化鋁基片（Φ76mm×0.5mm），使得樣品基片上的溫度更加均勻。
3、3″的石墨坩堝可放于底部加熱元件上，用于盛放蒸發(fā)料。
4、真空法蘭通過(guò)兩個(gè)硅膠O型圈進(jìn)行密封，通過(guò)機(jī)械泵其腔內(nèi)真空度可達(dá)10-2torr，通過(guò)分子泵真空度可達(dá)10-5torr。
5、兩個(gè)真空法蘭都可以通過(guò)手動(dòng)操作進(jìn)行上下移動(dòng)。
6、一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)安裝在法蘭頂部，可以準(zhǔn)確測(cè)量腔內(nèi)真空度。
技術(shù)規(guī)格：
爐體結(jié)構(gòu)和真空室 | • 雙加熱器，兩個(gè)溫度控制器，雙通道氣體流量計(jì)集成在移動(dòng)鋁合金框架中 • 腔室由高純度熔融石英管制成 • 石英管尺寸：11”OD / 10.8”ID×9”H • 真空法蘭由316不銹鋼制成 • 外形尺寸：850（長(zhǎng)）×745（寬）×1615（高）mm |
真空法蘭 | • 帶有一個(gè)KFD-25真空端口和兩個(gè)氣體出口（需要1/4"管）的頂部法蘭可以手動(dòng)上下滑動(dòng)，輕松裝卸基板和蒸發(fā)材料 • 底部法蘭有一個(gè)KFD-25真空口，帶兩個(gè)進(jìn)氣口（需要1/4"管）和針閥 • 法蘭由雙硅膠O形圈密封，可通過(guò)機(jī)械泵實(shí)現(xiàn)10E-2 Torr的真空壓力，通過(guò)分子泵實(shí)現(xiàn)10E-5 Torr（不包括真空泵，請(qǐng)單獨(dú)訂購(gòu)） • 精密防腐數(shù)字真空計(jì)是標(biāo)準(zhǔn)包裝 |
氣體流量計(jì) | 控制面板上安裝了兩個(gè)浮子表，測(cè)量范圍為： • 16-160 mL / m • 400 - 4000 mL / m（用于清洗目的） |
