小型3靶等離子濺射鍍膜儀
帶有觸摸屏數(shù)字控制器和能夠加熱至500℃的基板加熱器。可以將1-3種金屬材料涂覆到直徑為50mm的樣品上。 有三個濺射靶：金、銀、銅包括在內(nèi)可立即使用。
簡單介紹：
小型3靶等離子濺射鍍膜儀是一款緊湊型三旋轉(zhuǎn)靶等離子濺射鍍膜機，帶有觸摸屏數(shù)字控制器和能夠加熱至500℃的基板加熱器。可以將1-3種金屬材料涂覆到直徑為50mm的樣品上。 有三個濺射靶：金、銀、銅包括在內(nèi)可立即使用。
詳情介紹：
小型3靶等離子濺射鍍膜儀產(chǎn)品性能：
可濺射金、銀、銅三種靶材，不可以濺射輕金屬和碳。本機采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺，能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜，適用于實驗室制備復(fù)膜的樣品。本機采用PLC控制面板對設(shè)備進行控制，操作方便直觀。該機設(shè)備小巧，占用實驗室空間少，操作簡單，應(yīng)用廣泛。因此被廣泛應(yīng)用于各大高校及科研院所的實驗室中。
技術(shù)規(guī)格：
輸入功率 | • 單相220 VAC，50 / 60Hz • 700 W（包括真空泵） • 對于使用110 VAC，我們將為您提供變壓器。 |
輸出功率 | 1600 VDC,40 mA max |
真空室 | • 真空室: 150 mm ID×165mm OD×150 mm H,由高純度石英制成 • 密封法蘭由不銹鋼制成，帶有扁平O形圈 |
帶加熱器的樣品臺 | • 樣品臺尺寸:直徑50 mm. • 濺射距離范圍: 25–40 mm可調(diào) • 具有三個濺射位置的可旋轉(zhuǎn)平臺（由觸摸屏控制） • 內(nèi)置基板加熱器，zui高加熱溫度為500℃ • 觸摸屏集成了精度為+/- 1℃的PID溫度控制器 |
控制面板 | • 6”彩色觸摸屏，PLC集成，操作簡便 • 真空計、濺射電流計和基板溫度控制集成在觸摸屏面板上 • 前面板上的調(diào)節(jié)旋鈕用于進氣和濺射電流控制 • 可通過觸摸屏訪問濺射位置，濺射計時器和過程記錄 |
