可編程溫控?zé)嵴舭l(fā)鍍膜儀
共有4個蒸發(fā)源坩堝和精密的可編程溫度控制。 可以使用四個蒸發(fā)坩堝沉積多種不同的材料，以在相同的腔室氣氛中一個接一個地生長多層膜。該系統(tǒng)適用于涂覆大多數(shù)金屬和有機材料薄膜，尺寸至多為2“從200ºC至1500ºC（或200ºC-1700ºC，可選B型熱電偶）。
簡單介紹：
可編程溫控?zé)嵴舭l(fā)鍍膜儀一款緊湊型熱蒸發(fā)系統(tǒng)，共有4個蒸發(fā)源坩堝和精密的可編程溫度控制。 可以使用四個蒸發(fā)坩堝沉積多種不同的材料，以在相同的腔室氣氛中一個接一個地生長多層膜。該系統(tǒng)適用于涂覆大多數(shù)金屬和有機材料薄膜，尺寸至多為2"從200ºC至1500ºC（或200ºC-1700ºC，可選B型熱電偶）。
詳情介紹：
產(chǎn)品特點：
1. 280 mm外徑×260 mm內(nèi)徑×310 mm高度石英腔，便于清潔和裝載樣品
2. 2"可旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)源，用于均勻的薄膜涂層
3.鎢絲圈加熱器和氧化鋁坩堝，適用于高達(dá)1700℃的高溫涂層
4.精密溫度控制，具有30個可編程段和+/-1℃精度
5.通過可選的渦輪泵可以實現(xiàn)高達(dá)1.0E-5 Torr的高真空
6.內(nèi)置氣體流量端口和閥門，用于腔室凈化和CVD可能性
可編程溫控?zé)嵴舭l(fā)鍍膜儀技術(shù)規(guī)格：
輸入功率 | 輸入電壓：AC 208 - 240 V 50/60 Hz，單相（通過1500W變壓器可提供110V AC） 輸入功率：1200 W 輸出功率：12 V，max電流30 A，*工作電流<30 A. 電源線不帶插頭 |
溫度控制和加熱器 | • 四個氧化鋁蒸發(fā)坩堝，每個容量3 mL，四個熱源不能同時使用，多層沉積將逐一進(jìn)行。 • 帶有熱電偶的鎢絲圈加熱器內(nèi)置在氧化鋁坩堝的底部（用于溫度控制）。 標(biāo)準(zhǔn)S型熱電偶（包含和安裝），從200℃-1500℃加熱 可選B型熱電偶（額外收費），1200℃-1700℃加熱 • 一個數(shù)字溫度控制器，具有30個可編程段和+/- 1℃精度。 • 溫度控制器的時間設(shè)置以秒為單位，建議將溫度加熱/冷卻速度限制在1200℃以下0.3℃/ s（或20℃/ min），并從1200℃-1700℃限制在0.15℃/ s（或10℃/ min） • 對于高于1300℃的連續(xù)加熱，請將操作時間限制在1小時以內(nèi)，以保持底部法蘭O形圈的使用壽命 • 對于高達(dá)2000℃的快速涂層，如碳涂層所需，用戶可以取下熱電偶，氧化鋁熱塊和氧化鋁坩堝，將蒸發(fā)材料直接加載到鎢盤加熱器中，并使用當(dāng)前的手動控制模式。 • 包括四個氧化鋁坩堝（至高1700℃）和兩個鎢線圈加熱器。 |
