高精度、簡單的操作，自動測量與記錄是新一代光學(xué)測量儀器的特征。 OTS系列設(shè)備出色地滿足了這些要求，從而為計算機(jī)輔助的光學(xué)制造質(zhì)量控制打開了大門。
OTS儀器具有如下特點：
◆ 采用平行光管的透、反測量
◆ 高精度直線導(dǎo)軌（帶直線度補(bǔ)償）
◆ 通過對成像的評價，實現(xiàn)客觀，快速，高精度測量
◆ 自動對焦功能，避免操作人員的影響
◆ 測量頭電動，軟件控制；可選操作桿控制
◆ 十字叉絲開關(guān)電動控制
◆ 專門的測試分析軟件
◆ 計算機(jī)控制，界面易懂，操作簡單
常規(guī)屬性
可測量如下參數(shù)：
◆ 有效焦距（EFL）
◆ 后焦距（BFL）
◆ 曲率半徑（R）
◆ 法蘭焦距（FFL）
◆ 軸上MTF
◆ 透鏡中心偏差 *
◆ 柱面鏡的扭曲度、對稱度與楔角 *
◆ 平面元件的擴(kuò)展測量，如窗口平行度、楔角、直角棱鏡等 *
* 注：擴(kuò)展功能，需配備可選機(jī)械夾具與軟件功能才能進(jìn)行。
性能參數(shù)
| 項目 | OTS 200 | OTS 500 | |
焦距 EFL、后焦距 BFL、法蘭焦距FFL、曲率半徑 R | |||
測量范圍 | ±600mm | 5...1200mm | |
| -5...-1200mm | |||
| 重復(fù)性 | ±0.04…±0.3% | ||
| 精度 | ±0.3% | ||
| 調(diào)制傳遞函數(shù) MTF | |||
| 重復(fù)性與精度 | ±3% | ||
| MTF測量空間頻率 | 0 - 200 lp/mm | ||
| 中心偏測量 | |||
| 重復(fù)性 | ±0.02…±0.2% | ||
| 精度 | 5 um (±1”) | ||
| 楔角 | |||
| 測量精度 | ±1” | ||
| 角度分辨率 | 0.1” | ||
| 系統(tǒng)參數(shù) | |||
| CCD 相機(jī) | 高分辨率線性 CCD 相機(jī)，440,000 像素 | ||
| 通光孔徑 | ф28mm | ф65mm | |
| 自準(zhǔn)直儀焦距 | 200mm | 500mm | |
| 自動對焦 | 是 | ||
| 樣品直徑 | ф100mm | ф200mm | |
附件選項
◆ 柱面鏡測量夾具附件
◆ 中心偏測量附件
